隔膜泵有極強耐受酸堿以及水汽的性能，但是膜片以及閥門怕固體顆粒以及酸堿形成的結晶造成的機械損傷，如何避免這種損傷詳見隔膜泵使用指南。

這邊就隔膜泵內部真空度下降、排氣量下降是否是膜片或閥門損壞進行判斷以及已經在泵腔體內形成的結晶或者固體顆粒如何清除進行簡單說明。

   1.先把通氣管螺帽擰開，把PTFE通氣管卸下。（松開螺帽后管子向側方向轉動一些，就可以取下管子和接頭的連接）

   2.用5號六角螺絲把手，以對角的方式卸下帽蓋上六角螺絲。這時閥門托、閥門、閥門蓋會在帽蓋內。

   3.用酒精球清洗膜片以及閥門托內側（觀察膜片是否有破損，如果有破損就應該更換膜片)。

   4.把閥門托、閥門、閥門蓋從帽蓋內輕輕在桌子上扣下來，這時候要比較仔細，記下閥門在閥門托上擺放的方向以及位置，擦洗閥門，觀察閥門是否有破損，如有破損請及時更換，清洗或者更換完畢后，在閥門托上抹上真空脂或者玻璃脂按照原來位置安裝上閥門，請注意閥門上有紋路，紋路和蓋子上是對應的，把帽蓋在桌子上向上，裝上閥門蓋，扣上粘有閥門的閥門托。

   5.用對角順序上上6角螺絲，上PTFE通氣管，擰好通氣管螺帽。